禁铜处理规格的F.R.L组合。
过滤减压阀、油雾器的组合。

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。
行业：
半导体制造工序（前工序）
化学液体供给···

执行器全部采用绝对值型位置检测器。
驱动器与执行器的组合具有兼容性。本产品用途广泛，可用于组装工序等。
行业：组装

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业：
化学气体供给设备用元件
化学液体供给设备用···

符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业
化学液体供给设备用元件
化学气体供给设备用元件
半导体制造工序···